字数：6.7万字 出版社：中国计划出版社
本标准适用于新建、改建、扩建的电子工业的特种气体系统工程中的设计、施工和验收。本标准不适用于特种气体的制取、提纯、灌装等生产及配套装置的工程设计、施工和验收。
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